特許

J-GLOBAL ID：200903001912883010

固体撮像素子の製造方法

発明者： 石松 忠
出願人/特許権者： 凸版印刷株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-261926
公開番号（公開出願番号）：特開2001-085657
出願日： 1999年09月16日
公開日（公表日）： 2001年03月30日
要約：

【要約】【課題】固体撮像素子上のマイクロレンズ同士の間隔が0.2〜0.3μmである高開口率のマイクロレンズを、マイクロレンズ同士の融着が無く、安定して製造することができる方法を提供すること。【解決手段】マイクロレンズの材料となる感光性樹脂を塗布、露光、現像した後に、感光性樹脂外周のエッジ部分の仮硬化のために遠紫外域を含む紫外光を照射し、続いて加熱して溶解・変形・硬化させて形成する。また、用いる遠紫外域を含む紫外光の波長が200〜365nm、その照射量がレンズ材料の膜厚1μm当たり、波長254nmにおいて50〜100mJ/cm2であることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

マイクロレンズを有する固体撮像素子の製造方法において、各素子の上層にマイクロレンズを形成する際、材料となる感光性樹脂を塗布、露光、現像した後に、遠紫外域を含む紫外光を照射し、続いて加熱して溶解・変形・硬化させて形成することを特徴とする、固体撮像素子の製造方法。

IPC (4件)：

H01L 27/14 ,  G02B 3/00 ,  G02B 5/20 101 ,  H04N 5/335

FI (5件)：

H01L 27/14 D ,  G02B 3/00 A ,  G02B 3/00 Z ,  G02B 5/20 101 ,  H04N 5/335 Z

Fターム (19件)：

2H048BB02 ,  2H048BB47 ,  4M118AA01 ,  4M118AA10 ,  4M118AB01 ,  4M118BA10 ,  4M118CA02 ,  4M118CA40 ,  4M118FA06 ,  4M118GC08 ,  4M118GD04 ,  4M118GD07 ,  5C024AA01 ,  5C024CA31 ,  5C024EA04 ,  5C024FA01 ,  5C024FA11 ,  5C024FA18 ,  5C024GA11

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 特開平4-012568
  
• 特開平4-229803
  
• 固体撮像装置及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-207977   出願人：松下電子工業株式会社
• マイクロレンズの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-043642   出願人：凸版印刷株式会社

審査官引用 (3件)

• 特開平4-012568
  
• 特開平4-044266
  
• 固体撮像装置の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-256024   出願人：松下電子工業株式会社