特許
J-GLOBAL ID:200903001914250384

感放射線性樹脂組成物の調製法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 久保山 隆 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-041176
公開番号(公開出願番号):特開平6-258825
出願日: 1993年03月02日
公開日(公表日): 1994年09月16日
要約:
【要約】【目的】 比較的大きい非溶解粒子数が調製時及び長期保存後に少ない、感放射線性樹脂組成物の調製法を提供する。【構成】 アルカリ可溶性樹脂、感放射線性化合物、溶剤及び必要に応じて分子量900 未満のアルカリ可溶性化合物を含む感放射線性樹脂組成物の調製法であって、アルカリ可溶性樹脂、溶剤及び必要に応じて分子量900 未満のアルカリ可溶性化合物を混合して溶液を得ること、並びに得られた溶液と感放射線性化合物とを混合して溶解することを特徴とする感放射線性樹脂組成物の調製法。
請求項(抜粋):
感放射線性化合物、アルカリ可溶性樹脂、溶剤及び必要に応じて分子量900 未満のアルカリ可溶性化合物を含む感放射線性樹脂組成物の調製法であって、アルカリ可溶性樹脂、溶剤及び必要に応じて分子量900 未満のアルカリ可溶性化合物を混合して溶液を得ること、並びに、得られた溶液と感放射線性化合物とを混合して溶解することを特徴とする感放射線性樹脂組成物の調製法。
IPC (3件):
G03F 7/022 ,  B01F 1/00 ,  G03F 7/023
引用特許:
審査官引用 (4件)
  • 特開平2-254451
  • 特公昭54-004530
  • 特開昭55-105052
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