板状試料の流体処理方法ならびにその装置

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：作田康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-339145
公開番号（公開出願番号）：特開2002-141326
出願日： 2000年11月01日
公開日（公表日）： 2002年05月17日
要約：

【要約】【課題】板状試料とそれに対向する対向板との間に、液体および気体を連続して供給して試料表面の処理を行う方法では、対向板の液体と接する部分に付着した液体が、気体を用いた処理時に試料表面を汚染する恐れがある。試料の洗浄、リンス、乾燥を連続して行う場合には、乾燥不良を引き起こす。そのため、対向板に付着した液体は、気体処理時には速やかに除去することが必要であるが、対向面端部ならびに対向板側面に付着した液体は用意に除去されない。このような、対向板に付着した液体が気体処理時に除去されないことが課題である。【解決手段】対向板周囲にヒータを埋め込む、ランプを照射する、加熱した流体を供給する、等の方法により、対向板周囲を加熱することで、付着した液体の蒸発を促進する。

請求項１：

板状試料と、当該試料に対向して配置された板状対向板との間に形成される処理空間に、液体を供給する第1の工程と、前記板状対向板の周囲を加熱して前記処理空間に気体を供給する第2の工程を含むことを特徴とする板状試料の流体処理方法。

IPC (7件)：

H01L 21/304 651 , H01L 21/304 , B08B 1/04 , B08B 3/02 , B08B 3/04 , B08B 3/08 , B08B 5/02

FI (7件)：

H01L 21/304 651 M , H01L 21/304 651 L , B08B 1/04 , B08B 3/02 B , B08B 3/04 A , B08B 3/08 Z , B08B 5/02 Z

Fターム (9件)：

3B116AA03 , 3B116AB33 , 3B116CC03 , 3B201AA03 , 3B201AB33 , 3B201BB82 , 3B201BB95 , 3B201BB99 , 3B201CC11

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