特許

J-GLOBAL ID：200903001915479687

基板収納容器搬送装置およびそれを備えた基板処理装置

発明者： 足立 秀喜 ,  河村 隆 ,  高村 幸宏
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 福島 祥人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-226220
公開番号（公開出願番号）：特開平11-067863
出願日： 1997年08月22日
公開日（公表日）： 1999年03月09日
要約：

【要約】【課題】 異なる種類の基板収納容器を取り扱うことが可能な基板収納容器搬送装置および基板処理装置を提供する。【解決手段】 基板収納容器の型式を検出する型式検出用センサ21と基板収納容器のサイズを検出するサイズ検出用センサ22を備え、基板収納容器が一体型カセット90の場合には、回転機構部30に一体型カセット90を支持し、カセットのサイズに応じて扉開閉機構部70と一体型カセット90の扉92との鉛直位置を調整して扉92を取り外し、基板供給位置に一体型カセット90を移動させる。基板収納容器がオープン型カセット100の場合には、基板供給位置の回転機構部30に支持する。

請求項（抜粋）：

複数の基板を収納する基板収納容器を搬送する基板収納容器搬送装置であって、前記基板収納容器を支持する支持部と、前記支持部を第1の位置から第2の位置へ移動させる移動手段と、前記支持部に支持された前記基板収納容器の種類を識別する識別手段とを備えたことを特徴とする基板収納容器搬送装置。