特許
J-GLOBAL ID：200903001922520013
走査表面磁気顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-107329
公開番号（公開出願番号）：特開平5-302965
出願日： 1992年04月27日
公開日（公表日）： 1993年11月16日
要約：
【要約】【目的】試料表面形態を観察し、同一面上の磁区構造を高精度に観察,測定できる原子間力,トンネル電流を利用した走査表面磁気顕微鏡を提供することにある。【構成】スピン偏極した探針,斥力一定の制御機能、及びトンネル電流検出機能を有し、斥力一定モードで探針が試料の表面形態を捉え、斥力一定のZ軸制御の基でXY走査を行い、この時のトンネル電流の変化を計測する機能を有する構成とした。【効果】試料表面形態と同一面上の磁区構造を分離して高精度に観察,計測でき、試料の表面構造と磁気情報の相関解析を可能にすることができる。
請求項（抜粋）：
a)尖針を有する可撓性のカンチレバーと、b)前記カンチレバーの直流的な変位を検出する手段と、c)前記カンチレバーの直流的な変位を一定に保つように探針の位置を制御する手段と、d)前記尖針と試料の間に流れる電流を検出する手段と、e)前記尖針をスピン偏極した強磁性針で構成する手段と、f)前記強磁性針のスピン偏極率を変化する手段と、g)前記特定の周波数成分の試料と探針間の電流を検出する手段と、h)前記尖針を試料表面に沿って走査する手段と、i)前記カンチレバーの変位、および試料と尖針間の電流を走査位置ごとに表示する手段とを有することを特徴とする走査表面磁気顕微鏡。
IPC (3件)：
G01R 33/02
, G01R 33/10
, G01R 33/12
