特許

J-GLOBAL ID：200903001922557871

試料ホールダ

発明者： 小池 英巳 ,  浮穴 基英
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-224754
公開番号（公開出願番号）：特開平8-087972
出願日： 1994年09月20日
公開日（公表日）： 1996年04月02日
要約：

【要約】【目的】従来、集束イオンビーム(FIB)装置と透過電子顕微鏡(TEM)装置間で共用できる試料ホールダには、一軸傾斜方式しかなく、格子像を観察できるTEM試料作製は困難であった。本発明は容易に格子像を観察できる高品質なTEM試料を簡単に作製できる試料ホールダを提供することを目的にしている。【構成】TEM観察で使用するサイドエントリー方式の二軸傾斜ホールダにおいて、二軸目の傾斜角度を90度以上可能な構造にするとともに、TEMの試料作製に使用するFIBの入射領域を確保するために試料台の一部を切り欠いた構造にする。【効果】試料の入替え無しにFIB加工と二軸傾斜のTEM観察や、TEM観察後の再度FIB加工が容易になり、高品質のTEM試料作製を簡単に行うことが可能になる。

請求項（抜粋）：

ホールダと、試料を固定する試料台とを有し、前記ホールダと前記試料台が約90度回転可能に構成されていることを特徴とする試料ホールダ。