特許
J-GLOBAL ID：200903001922731707
フィルム剥離方法及び装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松山 圭佑 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-159993
公開番号（公開出願番号）：特開平10-007316
出願日： 1996年06月20日
公開日（公表日）： 1998年01月13日
要約：
【要約】【課題】 基板の表裏に張られている積層体フィルムの先端をバイブレータロッド等により浮上させてからエアージェットで剥離する場合に、表裏でのフィルムの先端位置や、剥離開始のタイミングにばらつきがあっても確実に剥離させる。【解決手段】 基板14の表裏に張られた積層体フィルム12A、12Bを、バイブレータ16A、16Bのロッド18A、18Bの打撃により浮かせ、エアージェット装置22Aへ23Bからエアーを吹き付けて、浮上ったフィルム先端領域をセンサ66A、66Bで検出し、検出された先端を、その側の一対のフィルム搬出ベルト72A、74A及び72B、74Bによって挟み込み、基板14から引き剥がし、外部に搬出する。表側又は裏側の一方の検出から所定時間内に他方が検出されないとき、該他方側のフィルム搬出ベルトを閉じて、基板14の進行を妨げないようにする。
請求項（抜粋）：
パスラインに沿って搬送される基板の表面及び裏面に貼着された積層体フィルムのそれぞれの送り方向先端縁を押圧して、積層体フィルムの少なくとも最も内側の層を残して、外側の層の端縁の一部を基板表面及び裏面から離間させ、次に該離間した各フィルムの先端部分にエアージェットを吹き込んでフィルムを基板から剥離させると共に、該剥離されたフィルムを、前記パスラインに接近して、前記基板の表側及び裏側にそれぞれ配置された各一対のベルトにより挾持して、基板の進行と同期して前記パスラインから離間する方向に搬出するフィルム剥離方法において、前記表側及び裏側の各一対のベルトを、少なくともパスライン側の入側端部間で開き、フィルム先端を挾持しない開状態としておき、前記表側及び裏側でのフィルム先端の剥離を別個に検出し、且つ、検出に応じて表側及び裏側のベルトを別個に閉じると共に、表側及び裏側の一方での剥離が検出されてから所定時間内に他方での剥離が検出されない場合、該他方側のベルトを閉じることを特徴とするフィルム剥離方法。
IPC (4件)：
B65H 41/00
, B65H 29/54
, G03F 7/004 512
, H05K 3/06
B65H 41/00 B
, B65H 29/54
, G03F 7/004 512
, H05K 3/06 J
, H05K 3/06 B
