特許
J-GLOBAL ID：200903001923360532
蒸着材
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-011053
公開番号（公開出願番号）：特開平11-209175
出願日： 1998年01月23日
公開日（公表日）： 1999年08月03日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】新規蒸着材およびその蒸着材を使用する蒸着方法を提供する。【解決手段】安定化剤とジルコニア粉末からなる成形体である。その微細構造は、造粒体と、造粒体を形成していない粒子との混合物で、造粒体の粒径は20μm以上300μm以下でその割合が20%以上90%以下で、かつ、その結晶系は単斜晶および立方晶で、単斜晶の含有率が70%以上で、造粒体を形成する粒子の平均粒径が0.5μm以上15μm以下である成形体からなることを特徴とする蒸着材。さらに、成形体中の結晶系は単斜晶の含有比率が25〜70%、正方晶の含有比率が10%以下で、残部が立方晶であり、かさ密度が3.0〜5.0g/cm3、気孔率が15〜50%、気孔のモード径が0.5〜3μm、0.1〜5μmの気孔の体積が全体積の90%以上を占めることを特徴とする蒸着材。さらに、当該蒸着材を使用する蒸着方法。
請求項（抜粋）：
安定化剤とジルコニア粉末からなる成形体であり、その微細構造が、ジルコニア粒子により造粒された造粒体と、造粒体を形成していない粒子とが混合した構造であり、粒径が20μm以上300μm以下の造粒体の割合が20%以上90%以下で、かつジルコニア粒子造粒体は実質的に安定化剤を含まず、その結晶系が単斜晶および立方晶からなり、単斜晶の含有率が70%以上であり、造粒体を形成する粒子の平均粒径が0.5μm以上15μm以下である成形体からなることを特徴とする蒸着材。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C04B 35/48 A
, C23C 14/24 E
