特許
J-GLOBAL ID:200903001923625684

真空ポンプの改良

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 中村 稔 (外6名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-047594
公開番号(公開出願番号):特開平10-002281
出願日: 1997年03月03日
公開日(公表日): 1998年01月06日
要約:
【要約】【課題】 大きな効率及び改善された真空性能の可能性をもたらす電磁作動式ピストンの真空ポンプを提供することにある。【解決手段】 真空ポンプはピストンの往復運動がソレノイド駆動装置(2)及び反作用ばね装置(31)によって行われる多段往復ピストン作動モードを有し、ポンプ段がポンプ入口(27)とポンプ出口(28)との間で直列に連結され、使用中、ポンプの中を移送されるガスが段の中を順に通る。
請求項(抜粋):
ピストンの往復運動がソレノイド駆動装置及び逆作用ばね装置によって行われる多段往復ピストン作動モードを有し、ポンプ段がポンプ入口とポンプ出口との間で直列に連結され、使用中、ポンプの中を移送されるガスが段の中を順に通る、真空ポンプ。
IPC (2件):
F04B 35/04 ,  F04B 37/14
FI (2件):
F04B 35/04 ,  F04B 37/14

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