特許

J-GLOBAL ID：200903001929434805

クランプリング

発明者： 松井弘行 ,  廣田一治
出願人/特許権者： ヤマハ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-209150
公開番号（公開出願番号）：特開平9-036211
出願日： 1995年07月24日
公開日（公表日）： 1997年02月07日
要約：

【要約】【課題】 PVD装置内での成膜工程中にウエハがクランプリングに貼り付いた場合でも、成膜終了後弾性部材の復元力でクランプリングとウエハを確実に離脱させる。【解決手段】 クランプリング本体の下面内周端に段状のウエハ接触部4を設けたクランプリングにおいて、このウエハ接触部4に凹部5を形成し、この凹部5に弾性部材7を配設する。クランプリングがウエハ8を解放する際、凹部に圧縮されていた弾性部材7の復元力でウエハ8をウエハ載置台11に押さえつける。

請求項（抜粋）：

クランプリング本体の下面内周端に段状のウエハ接触部を設け、該クランプリング本体の内周面にフランジ部を突設したクランプリングにおいて、前記ウエハ接触部に凹部を形成し、該凹部に弾性部材を配設したことを特徴とするクランプリング。

IPC (2件)：

H01L 21/68 ,  B23Q 3/06 304

FI (2件)：

H01L 21/68 N ,  B23Q 3/06 304 Z