超精密送り装置およびこれを用いたXYテ-ブル並びにテ-ブル移送装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：世良和信 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-154156
公開番号（公開出願番号）：特開平7-334245
出願日： 1994年06月13日
公開日（公表日）： 1995年12月22日
要約：

【要約】【目的】絶対的な位置を保証し得る超精密送り装置およびこれを用いたXYテーブル並びにテーブル移送装置を提供する。【構成】送り量を検出する送り量検出手段S1と、送り位置毎の形状誤差Eに関する情報と、装置の温度分布による熱変形に関する情報Hと、外力Fによる変形に関する情報の内の少なくともいずれか一つを逐次検出するために装置内部に設けられる情報検出手段S2,S3と、情報検出手段S2,S3の検出情報と位置決め誤差Δの関係及びその他装置各部の形状誤差Eと位置決め誤差Δの関係を予め知識とする記憶手段30と、送り量検出手段S1および情報検出手段S2,S3によって逐次検出される検出情報と前記記憶情報に基づいて補正制御量を求めてアクチュエータAを制御する計算機Cと、を備えたことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

駆動手段と、送り量を検出する送り量検出手段と、送り位置毎の形状誤差に関する情報と、装置の温度分布による熱変形に関する情報と、外力による変形に関する情報の内の少なくともいずれか一つを逐次検出するために装置内部に設けられる情報検出手段と、前記情報検出手段の検出情報と位置決め誤差の関係及びその他装置各部の形状誤差と位置決め誤差の関係を予め知識として記憶する記憶手段と、前記送り量検出手段及び情報検出手段によって逐次検出される検出情報と前記記憶情報に基づいて補正制御量を求めて前記駆動手段を駆動する制御手段と、を備えたことを特徴とする超精密送り装置。

IPC (6件)：

G05D 3/00 , B23Q 1/62 , B23Q 5/22 520 , B23Q 5/28 , B23Q 15/18 , B23Q 15/22

FI (2件)：

B23Q 1/14 , B23Q 1/18 A

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開平3-277447
特開昭64-051506
特開平3-287341

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