特許
J-GLOBAL ID：200903001935419575
有機薄膜形成装置の加熱容器
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
大塚 康徳
, 高柳 司郎
, 大塚 康弘
, 木村 秀二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-311324
公開番号（公開出願番号）：特開2004-091926
出願日： 2003年09月03日
公開日（公表日）： 2004年03月25日
要約：
【課題】 有機薄膜形成装置の加熱容器を提供する。【解決手段】 内部に有機物質57を収納できるように形成された本体51と、本体51と結合されるものであって、絶縁性物質で形成され、かつ有機物質57が吐出されるノズル42を具備したカバー41と、カバー41の上面に密着形成された薄膜のカバーヒーター43と、本体を取り囲むように設置される本体ヒーター53と、を含む有機薄膜形成装置の加熱容器50。これにより、カバー41の内面、特にノズル42部位で有機物質57が再結晶化して付着する閉塞現象を防止して、温度を容易に測定及び制御できる。【選択図】 図5
請求項（抜粋）：
内部に有機物質を収納できるように形成された本体と、
前記本体と結合されるものであって、絶縁性物質で形成され、かつ前記有機物質が吐出されるノズルを具備したカバーと、
前記カバーの上面に密着形成された薄膜のカバーヒーターと、
前記本体を取り囲むように設置される本体ヒーターと、
を含むことを特徴とする有機薄膜形成装置の加熱容器。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (4件)：
4K029BA62
, 4K029DB11
, 4K029DB12
, 4K029DB13
出願人引用 (5件)
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特開第2000-223269号公報
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特開第2000-12218号公報
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特開第2000-68055号公報
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審査官引用 (6件)
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