特許

J-GLOBAL ID：200903001948295255

極低温冷凍装置

発明者： 松本 孝三 ,  河村 成人 ,  古田 和生
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  日立テクノエンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 高田 幸彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-240909
公開番号（公開出願番号）：特開平5-079714
出願日： 1991年09月20日
公開日（公表日）： 1993年03月30日
要約：

【要約】【目的】極低温冷凍装置の不純ガス対策に関して、より効率的な運転と装置の小形化を目的とする。【構成】主内部吸着器系と並置し、循環精製運転に対応した比較的小容量の副内部吸着器系を設け、運転初期は切り替えて常温精製ガスでの循環精製運転ができるようにした。

請求項（抜粋）：

冷媒ガスを圧縮循環する圧縮機と熱交換器,膨張タービン,深冷配管,深冷弁等を有するコールドボックス等からなる極低温冷凍装置において、前記コールドボックス内上部の液体窒素温度レベル中圧ラインに主内部吸着器と該主内部吸着器より小容量の副内部吸着器と、主内部吸着器と副内部吸着器との容量にそれぞれ対応した常温〜液体窒素温度レベル間の主熱交換器と副熱交換器とを設け、該主内部吸着器又は副内部吸着器を出た精製ガスを主熱交換器又は副熱交換器で熱交換させて常温精製ガスとして装置内の循環精製に使用するように構成したことを特徴とする極低温冷凍装置。