特許
J-GLOBAL ID：200903001949090185
走査型力顕微鏡、電位計、電位及び形状測定器
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
柏木 明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-012949
公開番号（公開出願番号）：特開平6-221846
出願日： 1993年01月28日
公開日（公表日）： 1994年08月12日
要約：
【要約】【目的】 ac検出法による利点を維持しつつ、片持ち梁の振幅の基準を表す電圧除去手段を不要とし、この電圧除去手段に伴う弊害を解消し得るようにすること。【構成】 測定対象物21に対向させた探針25を片持ち梁27の先端に保持させ、前記測定対象物21と前記探針25との間に作用する力によって、前記片持ち梁27を変形させ、この片持ち梁27の変形の検出により前記測定対象物21と前記探針25との間に作用する力を検出し、前記測定対象物21の状態を測定するようにした走査型力顕微鏡において、前記測定対象物21を前記探針25の方向に前記片持ち梁27の共振周波数又はこの共振周波数とほぼ等しい周波数で振動させる対象物加振手段40を設け、測定対象物21側を振動させるようにした。
請求項（抜粋）：
測定対象物に対向させた探針を片持ち梁の先端に保持させ、前記測定対象物と前記探針との間に作用する力によって、前記片持ち梁を変形させ、この片持ち梁の変形の検出により前記測定対象物と前記探針との間に作用する力を検出し、前記測定対象物の状態を測定するようにした走査型力顕微鏡において、前記測定対象物を前記探針の方向に振動させる対象物加振手段を設けたことを特徴とする走査型力顕微鏡。
IPC (3件)：
G01B 21/30
, G01R 19/00
, G01R 29/12
