特許

J-GLOBAL ID：200903001950235014

外観検査装置

発明者： 遠藤 仁志
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 深見 久郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-121034
公開番号（公開出願番号）：特開2001-305075
出願日： 2000年04月21日
公開日（公表日）： 2001年10月31日
要約：

【要約】【課題】 必要な労力・人手を低減し、不良態様の区別が容易であり、検査精度が高く、不良の位置情報などを容易に蓄積・管理することができる、液晶基板の外観検査装置を提供する。【解決手段】 この装置は、検査対象となる基板1の主表面に向けて、それぞれ異なる方向から光を照射する複数の照射手段としてのリングライト2、ラインライト3などと、撮影手段としてのCCDカメラ6,7を備える。さらにこれらに対する基板1の相対位置を自在に移動できる位置決め手段として2軸ロボット9と、主表面のうち部位ごとに、ライトおよびCCDカメラのうち適切なものを選択して組合せて、画像情報を取得し、不良箇所を検出容易なように画像処理して表示する表示手段としてモニタ8を備える。

請求項（抜粋）：

検査対象となる基板の主表面に向けて、それぞれ異なる方向から光を照射する複数の照射手段と、前記主表面を撮影する撮影手段と、前記照射手段および前記撮影手段に対する前記基板の相対位置を自在に移動できる位置決め手段と、前記主表面のうち部位ごとに、前記照射手段および前記撮影手段のうち所望のものを選択して組合せて、画像情報を取得し、前記画像情報を不良箇所検出可能なように表示する表示手段とを備える、外観検査装置。

IPC (3件)：

G01N 21/958 ,  G01B 11/30 ,  G02F 1/13 101

FI (3件)：

G01N 21/958 ,  G01B 11/30 A ,  G02F 1/13 101

Fターム (44件)：

2F065AA49 ,  2F065BB01 ,  2F065BB22 ,  2F065CC25 ,  2F065FF02 ,  2F065FF04 ,  2F065FF61 ,  2F065GG16 ,  2F065GG17 ,  2F065HH14 ,  2F065HH15 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ26 ,  2F065MM03 ,  2F065MM07 ,  2F065MM24 ,  2F065QQ04 ,  2F065QQ13 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ32 ,  2F065RR08 ,  2F065SS13 ,  2G051AA73 ,  2G051AB01 ,  2G051AB02 ,  2G051AB03 ,  2G051BA01 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051CA07 ,  2G051DA07 ,  2G051DA15 ,  2G051EA11 ,  2G051EA14 ,  2G051EA20 ,  2G051EC01 ,  2G051ED14 ,  2G051FA10 ,  2H088FA12 ,  2H088FA16 ,  2H088FA17 ,  2H088FA24 ,  2H088MA16