特許
J-GLOBAL ID：200903001957763350

重ね合わせ精度測定方法。

発明者：
山中 幸治

山中 幸治 について


出願人/特許権者：
日本電気株式会社

日本電気株式会社 について


代理人 (1件)： 宮越 典明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-111464
公開番号（公開出願番号）：特開2000-306793
出願日： 1999年04月19日
公開日（公表日）： 2000年11月02日
要約：
【要約】【課題】 実際の半導体装置のパターンの重ね合わせずれ量が0にならない。【解決手段】 半導体装置の露光時に、実際の半導体装置のパターンと、重ね合わせ精度測定用パターンのずれ量と、を重ね合わせ精度測定用パターンに対応した特定のコマ収差の関数で相関付け、実際の半導体装置のパターンの配線幅等の寸法に応じた補正を行うことにより、実際の半導体装置のパターンのずれ量を正確に算出し、重ね合わせずれ量を0に近づける。
請求項（抜粋）：
半導体装置の露光時における重ね合わせ精度測定方法において、実際の半導体装置のパターンと、重ね合わせ精度測定用パターンのずれ量とを該重ね合わせ精度測定用パターンに応じた特定のコマ収差の関数で相関付けることを特徴とする重ね合わせ精度測定方法。
Fターム (9件)：
5F046BA03 ,  5F046DA13 ,  5F046EA03 ,  5F046EA04 ,  5F046EA09 ,  5F046EA10 ,  5F046EB01 ,  5F046EC05 ,  5F046FC04
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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