特許
J-GLOBAL ID：200903001979736560
プラズマ装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
則近 憲佑
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-080979
公開番号（公開出願番号）：特開平8-279490
出願日： 1995年04月06日
公開日（公表日）： 1996年10月22日
要約：
【要約】【構成】 本発明では、プラズマ装置において熱伝導率の高いブロック体をマイクロ波透過窓3の近傍に設置しマイクロ波透過窓3の冷却を促すなどの方法を用いて窓の寿命を確保しつつ見掛けの強度の向上を図っている。【効果】 本発明のプラズマ装置を用いれば、プラズマ装置に使われるマイクロ波透過窓の耐久性を比較的簡便に向上させることができる。
請求項（抜粋）：
マイクロ波を発振するマイクロ波発振器と、少なくとも一つの開口部を備えるガス室と、前記マイクロ波を導き、前記開口部の少なくとも一つから前記ガス室内に前記マイクロ波を入射させるマイクロ波出射開口部を備えた導波手段と、前記マイクロ波出射開口部と対向している前記開口部に備えられ、石英よりなる部材のガス室側の面の少なくとも一部にアルミナもしくはアルミナを含有する材料を被着したマイクロ波透過窓とを具備することを特徴とするプラズマ装置。
IPC (4件)：
H01L 21/3065
, C23C 16/50
, C23F 4/00
, H05H 1/46
H01L 21/302 B
, C23C 16/50
, C23F 4/00 D
, H05H 1/46 B
