特許
J-GLOBAL ID：200903001980420908
窓構造体並びにその組立て方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-068904
公開番号（公開出願番号）：特開平6-096895
出願日： 1993年03月26日
公開日（公表日）： 1994年04月08日
要約：
【要約】【目的】非常に異なる圧力のもとで2つのチヤンバをマイクロ波を通す窓で分離することができる、簡単で安価の装置を提供する。【構成】高圧の領域からマイクロ波が低圧の領域中に供給される異なる圧力の2つの領域をシールするための方法並びに装置である。シールは、低圧の領域側に設けられた突出部に設置され、石英、セラミック、合成樹脂等で形成された窓15である。この窓と突出部との間にはシリコン接着手段17が設けられている。
請求項（抜粋）：
低圧の第1の領域を高圧の第2の領域から圧力分離し、マイクロ波を通す窓構造体において、前記第1の領域は真空チヤンバであり、また前記第2の領域はマイクロ波(5)の案内メンバー(3;37,38,66)を有し、前記マイクロ波を通す窓(15;45,46,65)は真空チヤンバ(4,21,61)側に設けられた少なくとも1つの突出部上に設置され、取着手段により接続されていることを特徴とする窓構造体。
IPC (3件)：
H05H 1/46
, H01L 21/205
, H01L 21/302
