特許

J-GLOBAL ID：200903001991268245

インクジェットプリントヘッド及びその製造方法

発明者： 菊地 英幸 ,  中澤 明
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-061726
公開番号（公開出願番号）：特開平5-261920
出願日： 1992年03月18日
公開日（公表日）： 1993年10月12日
要約：

【要約】【目的】シリコン等の単結晶基板を用いたプリントヘッド及びその製造方法に関し、単結晶基板からの切断精度を高め印字品質の安定を図ることを目的とする。【構成】単結晶ウェハー(1)の表面に、インク滴を噴出するノズル(6)、インク滴を噴出させる圧力を発生させる圧力室(3)とインクを供給する供給路(2)を連通してなる複数のインク経路溝を有する複数のプリントヘッドパターンをエッチングにより形成する。同時に、裏面にプリントヘッドパターンの各々に対応して切断溝(9)を形成する。振動板ウェハー(5)を単結晶ウェハー(1)に張り合わせ、次いで、切断溝(9)に沿って一のプリントヘッドパターンを有する単結晶基板(10)及び振動板(50)を切り出す。

請求項（抜粋）：

インク滴を噴出するノズル(6)、該ノズル(6)よりインク滴を噴出させる圧力を発生させる圧力室(3)と該圧力室(3)にインクを供給する供給路(2)を連通してなる複数のインク経路溝を有するプリントヘッドパターンが表面にエッチングにより形成された単結晶基板(10)と該単結晶基板(10)の該表面上に張り合わされた振動板(50)を有し、該単結晶基板(10)及び該振動板(50)は、それぞれ単結晶ウェハー(1)及び振動板ウェハー(5)より切り出されたものであり、該単結晶基板(10)の裏面に対応する、該単結晶ウェハー(1)の面に形成された切断溝(9)に沿って切り出されたことを特徴とするインクジェットプリントヘッド。

IPC (3件)：

B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16

FI (2件)：

B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平4-031374
  
• 特開平3-227250
  
• 特開平3-297653
  
• 特開平3-150166