特許
J-GLOBAL ID：200903001993817467
低温活性ゲッター及びその製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
青山 葆 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-128630
公開番号（公開出願番号）：特開平10-314050
出願日： 1997年05月19日
公開日（公表日）： 1998年12月02日
要約：
【要約】【課題】 安価な低温活性化ゲッターを提供する。【解決手段】 低温活性ゲッター1は、活性化処理済みの高温活性化ゲッター材2の表面に低温活性化ゲッター材3からなる薄膜を形成してなる。
請求項（抜粋）：
活性化処理済みの高温活性化ゲッター材の表面に低温活性化ゲッター材からなる薄膜を形成してなることを特徴とする低温活性ゲッター。
IPC (3件)：
A47J 41/02 102
, C23C 14/02
, C23C 14/16
A47J 41/02 102 Z
, C23C 14/02 Z
, C23C 14/16 Z
