特許
J-GLOBAL ID：200903001998518913
形状計測装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
平田 忠雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-156423
公開番号（公開出願番号）：特開平11-351859
出願日： 1998年06月04日
公開日（公表日）： 1999年12月24日
要約：
【要約】【課題】 被測定物の自由曲面を含む複雑な3次元形状を導体か不導体かによらず高精度かつ簡便に計測可能な形状計測装置を提供する。【解決手段】 被測定物4をX-Y-Zステージ6によって鉛直方向Zに移動させると、被測定物4と触針7Aの先端部7dとが接触し、触針7がたわむ。画像処理部は、光学顕微鏡9が撮像した触針7の画像から所定の特徴量を算出する。接触判定部は、画像処理部による所定の特徴量に基づいて接触判定および「貼り付き」の有無の判定を行う。全体制御部は、X-Y-Zステージ6を制御して被測定物4の表面を鉛直方向Zおよび水平方向X,Yに走査し、接触判定部の判定結果に基づいて被測定物4の表面の3次元座標を取得する。
請求項（抜粋）：
先端が所定の方向に折曲された弾性を有する触針と、被測定物を前記所定の方向に走査して前記触針との間で接離動作を行う主走査手段と、前記主走査手段の前記接離動作によって発生する前記触針のたわみを検出する検出手段と、前記被測定物を前記触針に対して前記主走査方向に直交する副走査方向に相対的に移動させる副走査手段と、前記検出手段が検出した前記触針のたわみに基づいて、前記触針の前記被測定物への接触を判定するとともに、異常接触の有無を判定する判定手段と、前記主走査手段および前記副走査手段を制御して前記被測定物を前記主走査方向および前記副走査方向に走査し、前記判定手段の前記接触の判定および前記異常接触の有無の判定に基づいて前記被測定物の3次元座標を取得する制御手段とを備えたことを特徴とする形状計測装置。
IPC (2件)：
G01B 21/20 101
, G01V 9/00
G01B 21/20 101 Z
, G01V 9/00 B
