特許
J-GLOBAL ID：200903002001502130
表面導電性セラミックス部材の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
須山 佐一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-042562
公開番号（公開出願番号）：特開2006-131501
出願日： 2006年02月20日
公開日（公表日）： 2006年05月25日
要約：
【課題】メタライズ層が良好な接合強度を有すると共に、冷熱サイクルが印加された際に、クラックの発生やメタライズ層の剥離が抑制され、信頼性に優れた表面導電性セラミックス部材を製造する方法を提供する。【解決手段】窒化アルミニウム焼結体からなるセラミックス部材と、このセラミックス部材表面に設けられた高融点金属法、活性金属の単体あるいは化合物を含む厚膜法またはTi薄膜から選ばれる少なくとも1種からなる導電性メタライズ層とを有する表面導電性セラミックス部材の製造方法であって、前記導電性メタライズ層の端部から100μm以内における前記セラミックス部材の表面残留応力値が該セラミックス部材の材料強度の70%以下となるように、前記導電性メタライズ層の角部にR形状を設けることを特徴とする。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
窒化アルミニウム焼結体からなるセラミックス部材と、このセラミックス部材表面に設けられた高融点金属法、活性金属の単体あるいは化合物を含む厚膜法またはTi薄膜から選ばれる少なくとも1種からなる導電性メタライズ層とを有する表面導電性セラミックス部材の製造方法であって、
前記導電性メタライズ層の端部から100μm以内における前記セラミックス部材の表面残留応力値が該セラミックス部材の材料強度の70%以下となるように、前記導電性メタライズ層の角部にR形状を設けることを特徴とする表面導電性セラミックス部材の製造方法。
IPC (1件)：
FI (2件)：
C04B41/88 L
, C04B41/88 C
