特許
J-GLOBAL ID：200903002007257617
プローブカード
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-074934
公開番号（公開出願番号）：特開平6-291167
出願日： 1993年04月01日
公開日（公表日）： 1994年10月18日
要約：
【要約】【目的】ICウェハ試験のデバックに際して、プローブカードの針先が探針の直径より太い球または楕円体である事により、探針がパットに安定した状態で当たる事とパットとの接触面積を広くして、針先がパットを押す単位面積当たりの圧力を小さくする事によりパット自体の損傷を低減することにある。【構成】ポリミドまたはガラスエポキシ基板1と、タングステンなどで作られた探針2により構成されたプローブカードにおいて、探針の針先を探針の直径より太い球または楕円体にする事によりパットとの接触面積を広くして、針先がパットを押す単位面積当たりの圧力を減らす事により、針先によるパット自体の損傷を低減している。【効果】本発明によれば、同一ウェハ上のパットに何度もプローブカードの針先を接触させても、針先によるパット自体の損傷を低減でき、針先とパットとの接触面積が大きい事より針先がパットに安定した状態で当たる事が出来る。
請求項（抜粋）：
ICのウェハ試験で、ウェハ上のチップ内パットと試験装置の電気信号とを接続するための治具において、ポリミドまたはガラスエポキシ基板とタングステンなどで作られた探針により構成され、針先がパットに安定した状態で当たる事と、パットの針先の傷を少なくするために、探針の針先が探針の直径より太い球または楕円体である事を特徴とするプローブカード。
IPC (2件)：
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