特許
J-GLOBAL ID：200903002007414496
金属はく張り積層板の洗浄方法及び洗浄装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
廣瀬 章
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-169808
公開番号（公開出願番号）：特開平6-007749
出願日： 1992年06月29日
公開日（公表日）： 1994年01月18日
要約：
【要約】【目的】 銅張積層板の表面に付着した粉塵を十分に除き、粉塵が原因となる傷、錆の発生或は回路形成の工程で生ずる銅箔露出を防止する。【構成】 銅張積層板を電気伝導度130〜170μs/cmの水で高圧洗浄し、更に電気伝導度100〜130μs/cmの水で仕上げ洗浄する。粉塵除去装置は、隔壁を介して直状に連接した粗洗浄1、高圧洗浄2、仕上げ洗浄3、ローラー絞り4、冷風乾燥5、熱風乾燥6の各室からなり、各室の隔壁中央部開口を水平に連通するローラーコンベヤ7を設け、コンベヤ上の金属はく張り積層板8はローラー9の回転によって洗浄装置の前部から後部へ送られるようにする。洗浄室にはコンベヤに向かって上下から水を噴射するノズル10を、ローラー絞り室には水平かつ上下に2本ロール11を重ねてその間を銅張積層板が通るようにし、乾燥室にはコンベヤに向かって上下から冷風または熱風を送るノズル12、13を設ける。
請求項（抜粋）：
金属はく張り積層板表面に、電気伝導度が130〜170μS/cmの水を噴射洗浄し、さらに電気伝導度が100〜130μS/cmの水を噴射して仕上げ洗浄することを特徴とする金属はく張り積層板の洗浄方法。
IPC (3件)：
B08B 3/02
, H05K 3/00
, H05K 3/26
