特許
J-GLOBAL ID:200903002010553790

四重極型質量分析計

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 岡田 和秀
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-340854
公開番号(公開出願番号):特開平5-036375
出願日: 1991年12月24日
公開日(公表日): 1993年02月12日
要約:
【要約】【目的】 電源接続用のケーブルおよびケーブル挿通用のフィールドスルーの個数を削減し、装置の組み立ての手間を省き、コストダウンを図る。【構成】 真空室2内に直流阻止用のコンデンサCを設け、四重極電極4に対して直流電圧と高周波交流電圧を重畳してなる走査電圧を印加するためのケーブル14をフィールドスルー18によって真空室2内に挿通し、このケーブル14を四重極電極4に接続するとともに、コンデンサCを介して補助電極8に接続した。
請求項(抜粋):
真空室(2)内に四重極電極(4)が設けられ、この四重極電極(4)の軸心方向に沿う両端部のうちの少なくともイオン導入側の端部の前方位置には、補助電極(8)が配置されている四重極型質量分析計において、前記真空室(2)内に直流阻止用のコンデンサ(C)を設け、前記四重極電極(4)に対して直流電圧と高周波交流電圧を重畳してなる走査電圧を印加するためのケーブル(14)をフィールドスルー(18)によって前記真空室(2)内に挿通し、このケーブル(14)を四重極電極(4)に接続するとともに、前記コンデンサ(C)を介して補助電極(8)に接続したことを特徴とする四重極型質量分析計。
引用特許:
審査官引用 (8件)
  • 特開平3-236149
  • 特開昭47-032886
  • 特開昭49-003685
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