特許

J-GLOBAL ID：200903002012045440

有機インジウム化合物

発明者： デオダッタ・ビナヤク・シェナイ-ハトハテ ,  ロナルド・エル・ジカルロ,ジュニア
出願人/特許権者： シップレーカンパニー エル エル シー
代理人 (1件)： 千田 稔 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-008068
公開番号（公開出願番号）：特開2003-252878
出願日： 2003年01月16日
公開日（公表日）： 2003年09月10日
要約：

【要約】【課題】インジウム蒸着法における使用に好適な新規なインジウム化合物の提供。【解決手段】式Bg1Bg2InRを有し、Bg1及びBg2はそれぞれが少なくとも三つの炭素を有する嵩高なアルキル基であり、Rは(C1〜C4)アルキルであり、R及びBg1は異なるものである、インジウム化合物。

請求項（抜粋）：

式Bg1Bg2InRを有し、Bg1及びBg2はそれぞれが少なくとも三つの炭素を有する嵩高なアルキル基であり、Rは(C1〜C4)アルキルであり、R及びBg1は異なるものである、インジウム化合物。

IPC (2件)：

C07F 5/00 ,  C23C 16/18

FI (2件)：

C07F 5/00 J ,  C23C 16/18

Fターム (13件)：

4H048AA01 ,  4H048AB78 ,  4H048AB91 ,  4H048VA86 ,  4H048VB80 ,  4K030AA11 ,  4K030BA02 ,  4K030BA08 ,  4K030BA11 ,  4K030BA25 ,  4K030BA51 ,  4K030FA10 ,  4K030LA14