特許

J-GLOBAL ID：200903002020111680

露光装置システムおよびデバイス製造方法

発明者： 兼目 弘巳
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-160640
公開番号（公開出願番号）：特開2000-349017
出願日： 1999年06月08日
公開日（公表日）： 2000年12月15日
要約：

【要約】【課題】 パルス光による露光量を正確に制御できるようにし、また、各露光装置における各種メンテナンス時期を簡便かつ適切に管理できるようにする。【解決手段】 複数台の露光装置1a、1bと、これらを管理する管理用コンピュータ504とを備え、複数の露光装置と管理用コンピュータとを通信手段503を介して接続することによりネットワーク化した露光装置システムにおいて、管理用コンピュータは、各露光装置が所定のメンテナンスを実行すべきタイミングとそのメンテナンスに関する情報とを登録した登録情報508を有し、これに基づいて、登録されている各タイミングにおいて対応するメンテナンスを行なうべき旨のメンテナンス命令を対応する露光装置に発するものであり、各露光装置はこのメンテナンス命令に従ってメンテナンスを実施する。

請求項（抜粋）：

複数台の露光装置と、これらを管理する管理用コンピュータとを備え、前記複数の露光装置と管理用コンピュータとを通信手段を介して接続することによりネットワーク化した露光装置システムにおいて、前記管理用コンピュータは、各露光装置が所定のメンテナンスを実行すべきタイミングとそのメンテナンスに関する情報とを登録した登録情報を有し、これに基づいて、登録されている各タイミングにおいて対応するメンテナンスを行なうべき旨のメンテナンス命令を対応する露光装置に発するものであり、各露光装置はこのメンテナンス命令に従ってメンテナンスを実施するメンテナンス管理手段を具備することを特徴とする露光装置システム。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (3件)：

H01L 21/30 516 Z ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 502 G

Fターム (9件)：

5F046AA28 ,  5F046BA03 ,  5F046CA04 ,  5F046CB07 ,  5F046CB23 ,  5F046DA01 ,  5F046DB01 ,  5F046DC02 ,  5F046DD06