特許
J-GLOBAL ID：200903002024888205
塗布装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
浅井 章弘 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-023269
公開番号（公開出願番号）：特開平6-216018
出願日： 1993年01月18日
公開日（公表日）： 1994年08月05日
要約：
【要約】【目的】 回転保持手段と被処理体との間に洗浄液が浸入することを阻止する。【構成】 回転保持手段50に保持した被処理体Wを回転させつつこれに処理液58を塗布し、洗浄液68により裏面洗浄を行うようにした塗布装置において、平板状の回転保持手段の上面周縁部に、洗浄液浸入阻止段部78を周方向に沿って形成する。これにより、被処理体を載置した時にこの阻止段部と被処理体の裏面との間で洗浄液浸入阻止間隙80されることになり、洗浄時の洗浄水がこの中に浸入することを阻止する。
請求項（抜粋）：
上面が平坦に形成された回転保持手段に保持した被処理体を回転させつつこれに処理液を塗布し、前記被処理体の裏面に付着した前記処理液を洗浄液放出ノズルから放出された洗浄液により洗浄するようにした塗布装置において、前記回転保持手段の上面の周縁部に、この上面に前記被処理体が載置保持された時に前記洗浄液が浸入することを阻止するための洗浄液浸入阻止間隙を形成するための洗浄液浸入阻止段部を形成したことを特徴とする塗布装置。
IPC (5件)：
H01L 21/027
, B05B 13/02
, G03F 7/16 502
, H01L 21/304 341
, H01L 21/68
