特許

J-GLOBAL ID：200903002025997032

近視野光発生素子の作製方法

発明者： 笠間 宣行 ,  大海 学 ,  前田 英孝 ,  篠原 陽子 ,  光岡 靖幸 ,  新輪 隆 ,  加藤 健二 ,  市原 進
出願人/特許権者： セイコーインスツルメンツ株式会社
代理人 (1件)： 坂上 正明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-377254
公開番号（公開出願番号）：特開2002-181684
出願日： 2000年12月12日
公開日（公表日）： 2002年06月26日
要約：

【要約】【課題】本発明の課題は、簡便な方法で微小な開口を有する近視野光発生素子の作製方法を提供することである。【解決手段】少なくとも一つの錘状突起部を作製する工程と、錘状突起部とほぼ同じ高さを有する開口制御部を作製する工程と、少なくとも錘状突起部を覆う遮光膜を成膜する工程と、略平面を有する押し込み体を用いて錘状突起部と開口制御部に対して同時に力を加えることにより錘状突起部の先端に光学的な開口を形成する工程により、近視野光発生素子を作製する。

請求項（抜粋）：

遮光膜で覆われた錐状突起部の先端に光学的な開口をもつ近視野光発生素子の作製方法において、所望の波長を透過する少なくとも一つの錐状突起部を作製する工程と、前記錐状突起部とほぼ同じ高さを有する開口制御部を作製する工程と、少なくとも前記錐状突起部を覆う遮光膜を成膜する工程と、略平面を有する押し込み体を用いて前記錐状突起部と前記開口制御部に対して同時に力を加えることにより前記錐状突起部の先端に光学的な開口を形成する工程と、を含むことを特徴とする近視野光発生素子の作製方法。

IPC (4件)：

G01N 13/14 ,  G01N 13/10 ,  G11B 7/22 ,  G12B 21/06

FI (4件)：

G01N 13/14 B ,  G01N 13/10 D ,  G11B 7/22 ,  G12B 1/00 601 C

Fターム (5件)：

5D119AA11 ,  5D119AA22 ,  5D119BA01 ,  5D119JA34 ,  5D119NA05