特許

J-GLOBAL ID：200903002031774266

電磁マイクロ発電機

発明者： クヴィステロイ・テリエ
出願人/特許権者： インフィネオン・テクノロジーズ・センソナー・アクティーゼルスカブ
代理人 (3件)： 山田 卓二 ,  田中 光雄 ,  加野 博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-074492
公開番号（公開出願番号）：特開2007-267590
出願日： 2007年03月22日
公開日（公表日）： 2007年10月11日
要約：

【課題】集積回路技術と互換性がある完全に一体化した安価なマイクロ発電機を提供する。【解決手段】マイクロ発電機は、集積回路(IC)ウエハを含む。微小電子機械システム(MEMS)ウエハはICウエハに接合され、使用中に移動するように配置されたマイクロ機械素子を含む。連係する複数の溝とともに複数の第1金属コイルが、ICウエハ及び/又はMEMSウエハの一部として具現される。複数のマイクロ磁石が設けられ、各々は各溝と連合し、MEMSウエハ又はICウエハに蒸着、メッキ又は接合された磁石層から形成される。使用中に、マイクロ機械素子の移動により、コイルに電圧を発生させる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

集積回路(IC)ウエハと、 前記ICウエハに接合され、使用中に移動するように配置されたマイクロ機械素子を含む微小電子機械システム(MEMS)ウエハと、 前記ICウエハ及び/又は前記MEMSウエハの一部として具現される複数の第1金属コイルと、 前記ICウエハ及び/又は前記MEMSウエハに形成され前記第1コイルと連係する複数の溝と、 前記MEMSウエハ及び/又は前記ICウエハに蒸着又はメッキ又は接合された磁石層から形成される各溝と連係する複数のマイクロ磁石と、を含み、 使用中に前記マイクロ機械素子が移動するときに、電圧が前記第1コイルに誘導されるように、前記第1コイルに対して前記マイクロ磁石が前記溝の内部で移動するように配置されることを特徴とするマイクロ発電機。

IPC (1件)：

H02N 11/00

FI (1件)：

H02N11/00 Z

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 小型変成器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-077833   出願人：池田毅

引用文献：

審査官引用 (2件)

• Development of an electromagnetic micro-generator
• Development of an electromagnetic micro-generator