特許
J-GLOBAL ID：200903002033086952
走査型プローブ顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-271082
公開番号（公開出願番号）：特開平8-136553
出願日： 1994年11月04日
公開日（公表日）： 1996年05月31日
要約：
【要約】【目的】探針と試料との間の相対的な位置変動の少ない走査型プローブ顕微鏡を提供する。【構成】ステージ基台を支持する三本の送りねじ40の各々の上端には円形の凹部42が形成されており、その中に三つの小球50が収容されている。小球50はいずれも凹部42の底面46と周壁44に接していて、それぞれ正三角形の頂点の位置にあり、これらの三つの小球50の上にボール48が乗っている。つまり、ボール48は三つの小球50と接する三点で支持されている。送りねじ40の上端には樹脂製のボール抑え52が設けられている。このボール抑え52はボール48の脱落を防止するためだけに設けられたものであり、送りねじ40が上を向いている状態ではボール48の回転をいっさい妨げない。
請求項（抜粋）：
基台と、基台に設けられた回転により上下に移動し得る三本の送りねじと、三本の送りねじに支持されるユニットと、三本の送りねじを同時に回転させる手段とを備え、さらに送りねじは滑らかに回転するボールを先端部に備えている、走査型プローブ顕微鏡。
IPC (3件)：
G01N 37/00
, G01B 21/30
, H01J 37/28
