ポジ型感放射線性樹脂組成物

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：福沢俊明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-151175
公開番号（公開出願番号）：特開2001-330959
出願日： 2000年05月23日
公開日（公表日）： 2001年11月30日
要約：

【要約】【課題】放射線に対する透明性が高く、しかも解像度、感度、パターン形状等に優れるとともに、微細加工時の現像欠陥を生じることがなく、半導体素子を高い歩留りで製造しうるポジ型感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】ポジ型感放射線性樹脂組成物は、(A)下記式(1)で表される構造および/または下記式(2)で表される構造を有するアルカリ不溶性またはアルカリ難溶性の酸解離性基含有樹脂であって、該酸解離性基が解離したときアルカリ可溶性となる樹脂、並びに(B)感放射線性酸発生剤を含有する。【化1】〔式(1)において、R1 は水素原子、炭素数1〜5の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基または炭素数1〜5の直鎖状もしくは分岐状のアルコキシル基を示す。〕【化2】〔式(2)において、Zは炭素数4〜20の3価の脂環式炭化水素基またはその置換誘導体を示し、Xは単結合または炭素数1〜5の2価の有機基を示す。〕

請求項（抜粋）：

(A)下記式(1)で表される構造および/または下記式(2)で表される構造を有するアルカリ不溶性またはアルカリ難溶性の酸解離性基含有樹脂であって、該酸解離性基が解離したときアルカリ可溶性となる樹脂、並びに(B)感放射線性酸発生剤を含有することを特徴とするポジ型感放射線性樹脂組成物。【化1】〔式(1)において、R1 は水素原子、炭素数1〜5の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基または炭素数1〜5の直鎖状もしくは分岐状のアルコキシル基を示す。〕【化2】〔式(2)において、Zは炭素数4〜20の3価の脂環式炭化水素基またはその置換誘導体を示し、Xは単結合または炭素数1〜5の2価の有機基を示す。〕

IPC (9件)：

G03F 7/039 601 , C08F 8/12 , C08F 20/30 , C08F 32/00 , C08K 5/00 , C08L 33/14 , C08L 45/00 , C08L101/08 , H01L 21/027

FI (9件)：

G03F 7/039 601 , C08F 8/12 , C08F 20/30 , C08F 32/00 , C08K 5/00 , C08L 33/14 , C08L 45/00 , C08L101/08 , H01L 21/30 502 R

Fターム (40件)：

2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AA03 , 2H025AB16 , 2H025AC04 , 2H025AC08 , 2H025AD03 , 2H025BE00 , 2H025BE07 , 2H025BE10 , 2H025BG00 , 2H025CB43 , 2H025CB45 , 2H025FA17 , 4J002BG071 , 4J002BK001 , 4J002EB106 , 4J002EQ016 , 4J002EU186 , 4J002EV216 , 4J002EV236 , 4J002GP03 , 4J100AL08P , 4J100AL08Q , 4J100AR09P , 4J100AR11P , 4J100BA03P , 4J100BA03Q , 4J100BA15P , 4J100BA16P , 4J100BA40Q , 4J100BC02P , 4J100BC08Q , 4J100BC09Q , 4J100BC53P , 4J100CA01 , 4J100CA04 , 4J100CA05 , 4J100HA08 , 4J100JA37

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