特許
J-GLOBAL ID：200903002041311469
樹脂液脱泡装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
秋元 輝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-085907
公開番号（公開出願番号）：特開平5-259207
出願日： 1992年03月09日
公開日（公表日）： 1993年10月08日
要約：
【要約】【目的】 短時間で完全な脱泡処理が出来るようにした、樹脂液の脱泡装置を提供する。【構成】 TABテープ樹脂封止装置に使用する樹脂液の脱泡装置において、脱泡前の樹脂液を入れる容器と、この容器と連通し樹脂液に脱泡作用を施す真空室とから構成する。樹脂液が真空室内において落下する際に脱泡作用が遂行されるようにする。更に、樹脂液が真空室内でシャワー状となるように落下させる。
請求項（抜粋）：
半導体の樹脂封止装置に使用する樹脂液の脱泡装置において、脱泡前の樹脂液を入れる容器と、この容器と連通し樹脂液に脱泡作用を施す真空室とから構成されており、前記樹脂液が真空室内において落下する際に脱泡作用が遂行されるようにした樹脂液脱泡装置。
IPC (3件)：
H01L 21/56
, B05C 11/10
, B29B 13/00
