特許

J-GLOBAL ID：200903002042305055

レーザアニール装置および薄膜トランジスタの製造方法

発明者： 三橋 浩 ,  中村 篤史
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-217527
公開番号（公開出願番号）：特開2002-033293
出願日： 2000年07月18日
公開日（公表日）： 2002年01月31日
要約：

【要約】【目的】液晶表示装置の画素スイッチや駆動回路に用いられる多結晶シリコン半導体を歩留まりよく量産することのできる装置および製造方法を提供する。【解決手段】ガラス基板上に非晶質シリコン半導体薄膜を堆積したガラス基板を移動させながら、パルスレーザビームを照射することによって、非晶質シリコン半導体を多結晶シリコン半導体とする薄膜トランジスタの製造方法において、パルスレーザビームの時間変化波形が単一もしくは複数のピークを含む場合に、1番目のピークの強度または半値全幅を、全パルス分捕捉し、平均値に対して所定の値となるよう、パルスレーザビームの出力を、管理する。これにより、多結晶シリコンを用いるTFTの製造歩留まりを高く保つことができ、高性能のアクティブマトリクス液晶ディスプレイを量産することができる。

請求項（抜粋）：

非晶質シリコン半導体薄膜を堆積したガラス基板を移動させながら、パルスレーザビームを照射することによって、前記非晶質シリコン半導体を多結晶シリコン半導体とするレーザアニール装置において、前記パルスレーザビームの時間変化波形が単一もしくは複数のパルスおよびピークを含み、それらの中の任意の1つのパルスのピークまたは1つのパルス面積あるいは最も高い1つのパルスのピークの時間幅のいずれかを前記パルスレーザビームの照射回数分もしくは照射回数の一部分を測定し、その統計データの最大値または最小値が平均値からの規定値を越えた場合に一時的に前記パルスレーザビームの照射を停止し、警報を発する機能を持つことを特徴とするレーザアニール装置。

IPC (8件)：

H01L 21/268 ,  G02F 1/1368 ,  G09F 9/00 338 ,  G09F 9/30 338 ,  H01L 21/20 ,  H01L 21/66 ,  H01L 29/786 ,  H01L 21/336

FI (8件)：

H01L 21/268 T ,  H01L 21/268 J ,  G09F 9/00 338 ,  G09F 9/30 338 ,  H01L 21/20 ,  H01L 21/66 N ,  G02F 1/136 500 ,  H01L 29/78 627 G

Fターム (79件)：

2H092JA25 ,  2H092JA29 ,  2H092JA38 ,  2H092JA42 ,  2H092JA46 ,  2H092JB13 ,  2H092JB23 ,  2H092JB32 ,  2H092JB33 ,  2H092JB38 ,  2H092JB51 ,  2H092JB57 ,  2H092JB63 ,  2H092JB69 ,  2H092KA04 ,  2H092KA07 ,  2H092MA30 ,  2H092NA25 ,  2H092NA27 ,  2H092NA29 ,  2H092PA08 ,  2H092QA07 ,  4M106AA10 ,  4M106AA20 ,  4M106BA05 ,  4M106CA19 ,  4M106DH12 ,  4M106DH32 ,  4M106DJ17 ,  4M106DJ18 ,  4M106DJ20 ,  5C094AA42 ,  5C094AA43 ,  5C094AA44 ,  5C094BA03 ,  5C094BA43 ,  5C094CA19 ,  5C094GB10 ,  5C094JA01 ,  5F052AA02 ,  5F052BA02 ,  5F052BA04 ,  5F052BA07 ,  5F052BB07 ,  5F052CA07 ,  5F052DA02 ,  5F052DB03 ,  5F052EA12 ,  5F052EA15 ,  5F110AA30 ,  5F110BB02 ,  5F110CC02 ,  5F110DD02 ,  5F110DD13 ,  5F110DD14 ,  5F110DD17 ,  5F110EE04 ,  5F110EE06 ,  5F110EE44 ,  5F110FF29 ,  5F110GG02 ,  5F110GG13 ,  5F110GG25 ,  5F110GG45 ,  5F110HL03 ,  5F110NN72 ,  5F110PP03 ,  5F110PP04 ,  5F110PP05 ,  5F110PP06 ,  5F110PP07 ,  5F110PP35 ,  5G435AA17 ,  5G435BB12 ,  5G435CC09 ,  5G435HH13 ,  5G435KK05 ,  5G435KK09 ,  5G435KK10