特許
J-GLOBAL ID：200903002043684190
光学式変位センサ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
武 顕次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-007449
公開番号（公開出願番号）：特開平6-213623
出願日： 1993年01月20日
公開日（公表日）： 1994年08月05日
要約：
【要約】【目的】 測定面に傾きがあったり測定面に傷やゴミ等があった場合にも被測定物の変位を正確に測定でき、かつ測定面の傾きをも測定できる光学式変位センサを提供する。【構成】 半導体レーザ1と、半導体レーザ1からの光を被測定物7に投光する対物レンズ8とを備えた光学回路の反射光路上に、被測定物からの反射光2cを光源光から分離するビームスプリッタ4と、反射光を複数条のビーム14,15に分割する他のビームスプリッタ13と、分割された複数条のビームを夫々集光する検出レンズ9cと、集光されたビームをそれぞれ受光する2つの光検出器21,22を設ける。これら2つの光検出器のうち、1つを検出レンズの焦点面より前方に、他を検出レンズの焦点面より後方に配置した。
請求項（抜粋）：
光源と、光源からの光を被測定物に投光する投光手段と、被測定物からの反射光を受光する光検出器とを備え、光学的に被測定物の変位及び傾きを計測する光学式変位センサにおいて、前記被測定物からの反射光を光源光から分離する分離手段と、反射光を分割するビーム分割手段と、分割された複数条のビームを夫々集光する集光手段と、集光されたビームをそれぞれ受光する複数組の光検出器とを有し、これら複数の光検出器のうちの1つを前記集光手段の焦点面より前方に、他を前記集光手段の焦点面より後方に配置したことを特徴とする光学式変位センサ。
IPC (3件)：
G01B 11/00
, G01B 11/26
, G01C 3/06
