特許
J-GLOBAL ID：200903002048685682
気密保持方法及び気密保持機構
発明者：
,
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
吉嶺 桂 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-222773
公開番号（公開出願番号）：特開平7-055008
出願日： 1993年08月17日
公開日（公表日）： 1995年03月03日
要約：
【要約】【目的】 高清浄空間において、内部からの汚染をなくした気密保持方法及びその機構を提供する。【構成】 高清浄空間の気密を保持する方法において、該空間の開閉部の気密部材にフッ素樹脂化合物を用いることとしたものであり、前記フッ素樹脂化合物は予め加熱処理して用いるのがよい。
請求項（抜粋）：
高清浄空間の気密を保持する方法において、該空間の開閉部の気密部材にフッ素樹脂化合物を用いることを特徴とする高清浄空間の気密保持方法。
IPC (3件)：
F16J 15/10
, B01L 1/02
, F24F 7/06
