特許
J-GLOBAL ID：200903002054749528
画像測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-164157
公開番号（公開出願番号）：特開平10-009821
出願日： 1996年06月25日
公開日（公表日）： 1998年01月16日
要約：
【要約】【課題】ティーチングデータを簡単な操作で短時間で作成する。【解決手段】被検査物の像を光学系を介して結像させ、その結像の光強度分布に応じた電気信号を出力する撮像装置と、撮像装置から出力される電気信号に従って被検査物の画像を表示する表示装置と、画像の測定すべきエッジを含むエッジ位置検出領域内の当該エッジ位置を電気信号に基づく画像処理により検出する画像処理部とを有する画像測定装置において、画像処理部は更に、光学系を第一の倍率にして撮像装置から出力される電気信号に従って得られる第一の画像データを記憶し、第一の画像データを参照してエッジ位置検出領域の位置と方向を設定し、第一の画像データとエッジ位置検出領域の位置と方向のデータとを含むティーチングデータを作成することを特徴とする。ティーチングデータを作成するのに、測定時の高倍率に設定する必要がない。
請求項（抜粋）：
被検査物の像を光学系を介して結像させ、その結像の光強度分布に応じた電気信号を出力する撮像装置と、該撮像装置から出力される電気信号に従って該被検査物の画像を表示する表示装置と、該画像の測定すべきエッジを含むエッジ位置検出領域内の当該エッジ位置を前記電気信号に基づく画像処理により検出する画像処理部とを有する画像測定装置において、該画像処理部は更に、前記光学系を第一の倍率にして該撮像装置から出力される電気信号に従って得られる第一の画像データを記憶し、該第一の画像データを参照して前記エッジ位置検出領域の位置と方向を設定し、前記第一の画像データと前記エッジ位置検出領域の位置と方向のデータとを含むティーチングデータを作成することを特徴とする画像測定装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B 11/00 H
, G01B 11/24 C
