特許
J-GLOBAL ID：200903002055050331
自動出入れ式入力装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
油井 透 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-291296
公開番号（公開出願番号）：特開平6-140494
出願日： 1992年10月29日
公開日（公表日）： 1994年05月20日
要約：
【要約】【目的】 入力装置の出し入れ作業の煩雑さを解消する。【構成】 半導体の特性等を検査する半導体測定装置に格納され、必要に応じて出し入れされる入力装置13である。この入力装置13に、扉12を自動的に開閉する扉開閉駆動部28と、出入れ動作を自動的に行う出入れ機構部17とを備えた。入力装置13を半導体測定装置から出すときは、扉開閉駆動部28で扉12を開き、出入れ機構部17で入力装置13が半導体測定装置から延出させる。格納は逆の動作になる。これにより、入力装置13の出し入れ作業の煩雑さが解消する。
請求項（抜粋）：
半導体の特性等を検査する半導体測定装置に格納されて扉が閉じられ、必要に応じて出し入れされる入力装置であって、前記扉を自動的に開閉する扉開閉駆動部と、出入れ動作を自動的に行う出入れ機構部とを備えたことを特徴とする自動出入れ式入力装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, G01R 31/26
, H01L 21/66
