特許

J-GLOBAL ID：200903002056991490

シート状ワークのプロキシミティ露光装置

発明者： 岡田 将一
出願人/特許権者： ウシオ電機株式会社
代理人 (1件)： 長澤 俊一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-331814
公開番号（公開出願番号）：特開平10-171125
出願日： 1996年12月12日
公開日（公表日）： 1998年06月26日
要約：

【要約】【課題】 平行出しを行う際、マスクとワークに間に強い密着力が発生するのを防止すること。【解決手段】 送り出しリール1から引き出された帯状ワークWをワークステージ5の所定位置に位置決めして保持したのち、ワークステージ5を上昇させる。これにより、間隙設定機構7が変位してスペーサ10の全面がワークWと接触し、マスクMとワークWの傾きは一致する。この状態を保持したまま、ワークステージ5を微小量下降させ、マスクMとワークWを平行にかつその間隙を一定に設定する。ついで、マスクMとワークWのアライメントを行い、マスクパターンをワークW上に露光する。マスクステージ4にスペーサ10を取り付けたので、マスクMとワークWが直接接触することがなく、ワークステージ5を下降させたとき、マスクMとワークWを容易に引き離すことができる。

請求項（抜粋）：

紫外線を含む光を放出する光照射部と、マスクと、該マスクを保持するマスクステージと、ワークと、該ワークを上記マスクと対向する面の裏面側から保持するワークステージと、上記マスクとワークの間であって、上記マスクのマスクパターン形成領域から外れた位置に配置されたスペーサと、上記ワークステージを回転および水平、垂直方向に移動させるワークステージ移動機構と、マスクとワークの位置合わせを行うための位置合わせ機構と、上記ワークをマスク側に移動させて上記スペーサの全面をワークとマスクを接触させたときのマスクとワークの相対位置を保持することにより、マスクとワークとを一定の間隙に設定する間隙設定設定機構とを備えたことを特徴とするプロキシミティ露光装置。

IPC (3件)：

G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027 ,  H05K 3/00

FI (4件)：

G03F 7/20 521 ,  H05K 3/00 H ,  H01L 21/30 510 ,  H01L 21/30 511

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭56-169330
  
• 特開昭56-169330
  
• ワークとマスクの間隙設定方法、及び間隙設定機構
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-168703   出願人：ウシオ電機株式会社
• 特開昭60-207336