特許

J-GLOBAL ID：200903002057099290

パターン形成装置、パターン形成方法、有機電界発光素子ディスプレイの製造装置及び製造方法

発明者： 大海 元祐 ,  柿沼 正康 ,  林 弘志 ,  河島 利孝
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 小池 晃 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-259629
公開番号（公開出願番号）：特開2002-075639
出願日： 2000年08月29日
公開日（公表日）： 2002年03月15日
要約：

【要約】【課題】 装置を大型化したりすることなくメタルマスクと基板との密着性を保つ。【解決手段】 基板の一方の面側に配され、磁性材料からなるマスクと、基板の他方の面側に配された磁化部材と、基板のマスクが配された面と対向して配されたパターン形成手段とを備え、磁化部材は、複数の磁区を有し、当該複数の磁区は隣り合う磁区との極性が異なるように配されている。

請求項（抜粋）：

基板上にパターン形成を行うパターン形成装置であって、上記基板の一方の面側に配され、磁性材料からなるマスクと、上記基板の他方の面側に配された磁化部材と、上記基板のマスクが配された面と対向して配されたパターン形成手段とを備え、上記磁化部材は、複数の磁区を有し、当該複数の磁区は隣り合う磁区との極性が異なるように配されていることを特徴とするパターン形成装置。

IPC (7件)：

H05B 33/10 ,  C23C 14/04 ,  C23C 16/04 ,  H05B 33/12 ,  H05B 33/14 ,  H05K 3/14 ,  H05K 3/16

FI (7件)：

H05B 33/10 ,  C23C 14/04 A ,  C23C 16/04 ,  H05B 33/12 B ,  H05B 33/14 A ,  H05K 3/14 B ,  H05K 3/16

Fターム (35件)：

3K007AB18 ,  3K007BA06 ,  3K007CA01 ,  3K007CB01 ,  3K007DA01 ,  3K007DB03 ,  3K007EB00 ,  3K007FA01 ,  4K029BA62 ,  4K029BB03 ,  4K029BC07 ,  4K029BD00 ,  4K029CA01 ,  4K029CA03 ,  4K029CA05 ,  4K029HA04 ,  4K030BA35 ,  4K030BB14 ,  4K030DA05 ,  5E343AA02 ,  5E343AA22 ,  5E343AA26 ,  5E343BB21 ,  5E343BB71 ,  5E343DD22 ,  5E343DD23 ,  5E343DD24 ,  5E343DD25 ,  5E343DD26 ,  5E343FF12 ,  5E343FF14 ,  5E343FF28 ,  5E343FF30 ,  5E343GG06 ,  5E343GG11