特許

J-GLOBAL ID：200903002061767221

有機質・無機質複合導波路及びその製造方法

発明者： 井本 克之
出願人/特許権者： 日立電線株式会社
代理人 (1件)： 絹谷 信雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-194992
公開番号（公開出願番号）：特開2003-014961
出願日： 2001年06月27日
公開日（公表日）： 2003年01月15日
要約：

【要約】【課題】 導波路を簡単に製作できる有機質・無機質複合導波路及びその製造方法を提供する。【解決手段】 基板10,20上に、ポリシラン化合物からなる溶液を塗布し(S1)、その溶液をベークして(S2)ポリマ膜を形成し、そのポリマ膜12,22の表面或いは内部にパルス幅が1000fs以下の超短パルスレーザビームを集光し、照射させながらポリマ膜12,22の位置を変位させて高屈折率に変化した光伝搬層13,23のパターンを、ポリマ膜表面或いは内部に形成(S3)したものである。

請求項（抜粋）：

ポリシラン化合物からなるポリマ膜の表面或いは内部にパルス幅が1000fs以下の超短パルスレーザビームを集光して高屈折率に変化させた光伝搬層のパターンを、ポリマ膜表面或いは内部に形成したことを特徴とする有機質・無機質複合導波路。

IPC (2件)：

G02B 6/12 ,  G02B 6/13

FI (2件)：

G02B 6/12 N ,  G02B 6/12 M

Fターム (13件)：

2H047KA03 ,  2H047PA02 ,  2H047PA05 ,  2H047PA12 ,  2H047PA15 ,  2H047PA24 ,  2H047PA28 ,  2H047QA04 ,  2H047QA05 ,  2H047RA08 ,  2H047TA05 ,  2H047TA31 ,  2H047TA41