【要約】【課題】 磁気テープに適用できる程度に耐摺動性に優れた薄膜磁気ヘッドを提供する。【解決手段】 下地膜の表面をフッ素含有炭素化合物または窒素含有化合物を含有する雰囲気に曝してから、フッ素または窒素を添加したタイヤモンド状炭素(DLC)膜を形成する。下地膜の基板側に酸素含有層を設けても耐摩耗性が向上する。この場合、酸素含有層は、下地膜膜厚の10〜70%に相当するSiO
x(ただし、0
請求項(抜粋):
磁気記録媒体との摺動面を有し、前記摺動面において基体上に下地膜およびダイヤモンド状炭素膜がこの順に形成された薄膜磁気ヘッドの製造方法であって、前記下地膜の表面を、フッ素含有炭素化合物を含有する雰囲気に曝してから、前記表面に、フッ素を添加したダイヤモンド状炭素膜を形成することを特徴とする薄膜磁気ヘッドの製造方法。
Fターム (7件):
5D033BA11
, 5D033BA15
, 5D033CA03
, 5D033DA01
, 5D033DA02
, 5D033DA03
, 5D033DA31
前のページに戻る