特許

J-GLOBAL ID：200903002065761996

基板位置決め装置

発明者： 吉兼 裕人
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-310784
公開番号（公開出願番号）：特開2001-127140
出願日： 1999年11月01日
公開日（公表日）： 2001年05月11日
要約：

【要約】【課題】 基板側面での不要な反射光を制限し、より精確な外周位置検出を可能にする。【解決手段】 基板1の外周部を照明手段と受光手段により光学的に検出し、その検出結果に基づいて基板の位置決めを行う基板位置決め装置において、照明手段15、17からの照明光束の角度を調節する照明角度調節手段20、21、22、23を設ける。

請求項（抜粋）：

基板の外周部を照明手段と受光手段により光学的に検出し、その検出結果に基づいて前記基板の位置決めを行う基板位置決め装置において、前記照明手段からの照明光束の角度を調節する照明角度調節手段を具備することを特徴とする基板位置決め装置。

IPC (2件)：

H01L 21/68 ,  H01L 21/027

FI (2件)：

H01L 21/68 F ,  H01L 21/30 520 A

Fターム (13件)：

5F031CA02 ,  5F031JA05 ,  5F031JA07 ,  5F031JA34 ,  5F031JA36 ,  5F031KA13 ,  5F031MA27 ,  5F046EA30 ,  5F046EC02 ,  5F046FA01 ,  5F046FA11 ,  5F046FC04 ,  5F046FC08