特許

J-GLOBAL ID：200903002067569596

高安定高結合弾性表面波基板を用いた高周波弾性表 面波フィルタ及び弾性表面波機能素子

発明者： 山之内 和彦
出願人/特許権者： 山之内 和彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-229861
公開番号（公開出願番号）：特開平7-015274
出願日： 1991年06月02日
公開日（公表日）： 1995年01月17日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 温度による中心周波数の変化の小さい薄膜構造の基板を用いた超高周波帯の低挿入損失の弾性表面波フィルタおよび弾性表面波機能素子を提供する。【構成】電気機械結合係数の大きなLiNbO3、LiTaO3基板上に逆の温度特性をもつ構造である、SiO2/128 ゚Y-X LiNbO3基板、SiO2/36 ゚Y-X LiTaO3基板、SiO2/41 ゚Y-X LiNbO3基板、SiO2/64 ゚Y-X LiNbO3、SiO2/128 ゚Y-X LiTaO3において、それらのカット角が128 ゚、36 ゚、41 ゚、64 ゚のいずれもそれらの値から±20 ゚の範囲であり、SiO2膜厚をH、動作中心周波数をλ0として、H/λ0の値が0.03から0.5の範囲の弾性表面波基板を用いた超高周波の一方向性或いは共振器構造或いはIIDT構造の挿入損失の小さい弾性表面波フィルタ及び弾性表面波機能素子。

請求項（抜粋）：

温度の変化に対する中心周波数の変化の小さい薄膜構造の弾性表面波基板を用いた超高周波帯弾性表面波フィルタおよび弾性表面波機能素子。