特許

J-GLOBAL ID：200903002080660632

水晶振動子の製造装置

発明者： 森迫 勇 ,  八尋 寛司
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 滝本 智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-165482
公開番号（公開出願番号）：特開平11-017482
出願日： 1997年06月23日
公開日（公表日）： 1999年01月22日
要約：

【要約】【課題】 水晶振動板の電極が空気に触れて酸化されることにより発生する周波数の狂いを解消し、高精度の水晶振動子を製造できる水晶振動子の製造装置を提供することを目的とする。【解決手段】 水晶振動板をケースに収納して成るワーク5をピックアップヘッド26でピックアップし、第1ステージS1の真空チャンバ10内の移送テーブル上に移載する。移送テーブルを水平回転させて、ワーク5を第2ステージS2へ送ってイオンガン45により水晶振動板の周波数を調整した後、第3ステージS3においてカバー装着手段50によりケースにカバーを装着する。次に第4ステージS3でカバーを固着して水晶振動板を真空封止した後、第4ステージS4で水晶振動子7を真空チャンバ10から取り出し、回収部25に回収する。

請求項（抜粋）：

真空チャンバと、真空チャンバ内をケース内に水晶振動板を収納して成るワークを移送する移送手段とを備え、移送手段によるワークの移送路に、ワークの供給部と、真空中で移送手段上のワークの周波数を調整する周波数調整手段と、真空中でワークにカバーを装着するカバー装着手段と、装着されたカバーをワークに固着するカバー固着手段と、完成した水晶振動子を真空チャンバから回収する回収部とを設けたことを特徴とする水晶振動子の製造装置。

FI (2件)：

H03H 3/02 A ,  H03H 3/02 B

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 組立治具
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-060215   出願人：明電通信工業株式会社
• 水晶振動子の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-118748   出願人：株式会社エスアイアイ・クォーツテクノ
• 特表平7-507185