特許
J-GLOBAL ID:200903002087432651

変位センサ

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-274266
公開番号(公開出願番号):特開平8-114402
出願日: 1994年10月14日
公開日(公表日): 1996年05月07日
要約:
【要約】【目的】感度向上及び小型化が図られる変位センサを提供する。【構成】入力軸2及び出力軸3間の回転方向の相対変位に従って変位するスライダ8を、鉄等の磁性材料から形成するとともに、その外周面に大径部8aを形成し、その大径部8aの軸方向両側に、アルミニウム等の導電性で且つ非磁性の材料からなるリング部材12,13を配設する。そして、スライダ8を包囲するように一対のコイル15,16を同軸に配設し、それらコイル15,16の自己誘導起電力の差に基づいてスライダ8の変位を検出する。さらに、スライダ8の進退範囲の全域に渡って、リング部材12,13の全体がコイル15,16の内側に入り込んだり、外側に出てしまわないようにする。
請求項(抜粋):
同軸に配設された一対のコイルの内側に、軸方向に進退自在にコアを配置し、前記コアの外周面に、導電性で且つ非磁性の材料からなる領域と、磁性材料からなる領域とを、一方の領域が他方の領域を軸方向から挟み込むように形成し、そして、前記一対のコイル,前記一方の領域及び前記他方の領域の軸方向の寸法関係を、前記コアの進退範囲の全域に渡って、前記一方の領域の軸方向外側端部が常に前記一対のコイルの軸方向外側端面よりも外側に位置し、前記他方の領域の一端が常に前記一対のコイルのうちの一方の内側に位置し、前記他方の領域の他端が常に前記一対のコイルのうちの他方の内側に位置するように設定し、さらに、前記一対のコイルのそれぞれの自己誘導起電力の差を検出する差動検出手段を設け、その差動検出手段の出力に基づいて、一対のコイルを支持する部材と、前記コアを支持する部材との間の軸方向の相対変位を測定することを特徴とする変位センサ。
IPC (2件):
G01B 7/00 ,  G01D 5/20

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