特許

J-GLOBAL ID：200903002091172109

防塵性硬質炭素被膜

発明者： 長田 誠一
出願人/特許権者： 大同特殊鋼株式会社
代理人 (1件)： 上野 登
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-316036
公開番号（公開出願番号）：特開平11-130590
出願日： 1997年10月30日
公開日（公表日）： 1999年05月18日
要約：

【要約】【課題】 基材表面に形成した硬質炭素被膜上における静電気発生を防止することにより、相手材の過度の摩耗を抑制すると共に、硬質炭素被膜表面へのゴミの付着に起因する硬質炭素被膜自身の異常摩耗を抑制すること。【解決手段】 基材表面に直接又は中間層を介して所定の硬度を有する硬質炭素被膜を形成すると共に、その表面にさらに、比抵抗が1x107Ωcm 以下、好ましくは1x104Ωcm 以下である導電性被膜、特に、水素を27atm%以下及び/又は窒素等の第三元素を25atm%以下含有する導電性硬質炭素被膜を形成するようにした。

請求項（抜粋）：

基材表面に直接又は中間層を介して形成した硬質炭素被膜と、該硬質炭素被膜の表面に形成した1x107Ωcm 以下の比抵抗を有する導電性被膜からなることを特徴とする防塵性硬質炭素被膜。

IPC (5件)：

C30B 29/04 ,  B32B 7/02 104 ,  B32B 9/00 ,  C23C 14/06 ,  C23C 16/26

FI (5件)：

C30B 29/04 W ,  B32B 7/02 104 ,  B32B 9/00 A ,  C23C 14/06 F ,  C23C 16/26