特許

J-GLOBAL ID：200903002095047945

リソグラフィー用ペリクル

発明者： 浜田 裕一 ,  川上 聡 ,  白崎 享 ,  永田 愛彦 ,  樫田 周 ,  久保田 芳宏
出願人/特許権者： 信越化学工業株式会社
代理人 (1件)： 山本 亮一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-311913
公開番号（公開出願番号）：特開平7-168345
出願日： 1993年12月13日
公開日（公表日）： 1995年07月04日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 本発明はペリクル膜が接着剤によってペリクル枠に強固に接着されているにも拘わらず、ペリクル膜にシワや歪みが発生することのないリソグラフィー用ペリクルの提供を目的とするものである。【構成】 本発明のリソグラフィー用ペリクルは、ポリマーからなるペリクル膜をポリマーからなる接着剤を用いてペリクル枠に接着してなるリソグラフィー用ペリクルにおいて、この接着剤をそのガラス転移温度がペリクル膜のガラス転移温度よりも低いものとしてなることを特徴とするものである。

請求項（抜粋）：

ポリマーからなるペリクル膜をポリマーからなる接着剤を用いてペリクル枠に接着してなるリソグラフィー用ペリクルにおいて、この接着剤をそのガラス転移温度がペリクル膜のガラス転移温度よりも低いものとしてなることを特徴とするリソグラフィー用ペリクル。

IPC (3件)：

G03F 1/14 ,  C09J127/12 JCQ ,  H01L 21/027

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平4-104155
  
• 特開平4-237055
  
• 特開平3-259258
  
• 特開平1-120555