特許
J-GLOBAL ID:200903002095409669

封止試験方法およびその装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 筒井 秀隆
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-037532
公開番号(公開出願番号):特開2004-245752
出願日: 2003年02月17日
公開日(公表日): 2004年09月02日
要約:
【課題】試料の大きさやリーク穴の大小に対して、広範囲で封止性を正確に評価でき、気泡の検出度が高い封止試験方法およびその装置を提供する。【解決手段】試験液Fを貯留した圧力容器1内の空気相3に試料Wを配置し、ピストン2を作動させて圧力容器1内の空気相3を所定の正圧まで加圧する。空気相3を加圧した状態のまま試料Wを試験液F中に浸漬した後、パージポート22を開いて常圧に戻し、その後、ピストン2を作動させて空気相3を所定の負圧まで減圧する。減圧状態で試験液F中の試料Wから発生する気泡の有無により、試料Wの封止性能を評価する。【選択図】 図3
請求項1:
試験液を貯留した圧力容器内の空気相に試料を配置する工程と、 上記圧力容器内の空気相を所定の正圧まで加圧する工程と、 上記空気相を加圧した状態のまま試料を試験液中に浸漬する工程と、 上記空気相を所定の負圧まで減圧する工程と、 減圧状態で試験液中の試料から発生する気泡の有無により、試料の封止性能を評価する工程と、を備えたことを特徴とする封止試験方法。
IPC (3件):
G01M3/06 ,  G01M3/04 ,  G01M3/32
FI (4件):
G01M3/06 A ,  G01M3/04 S ,  G01M3/32 A ,  G01M3/32 B
Fターム (6件):
2G067AA24 ,  2G067BB02 ,  2G067BB04 ,  2G067BB30 ,  2G067CC04 ,  2G067DD15
引用特許:
審査官引用 (7件)
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