特許

J-GLOBAL ID：200903002096242130

ニオブ酸リチウムデバイスを安定化させるための緩衝層構造

発明者： バーンズ, ウイリアム, ケー. ,  ヘス, ラリー, エー. ,  アガールワル, ヴィシャル
出願人/特許権者： コディオン コーポレイション
代理人 (2件)： 山田 行一 ,  二宮 克之
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-558588
公開番号（公開出願番号）：特表2005-515485
出願日： 2003年01月06日
公開日（公表日）： 2005年05月26日
要約：

上面及び下面を有する電気-光学結晶基板(10)と、この電気-光学結晶基板の面内に形成された光導波路(14a,14b)と、この光導波路の上に配置されて、光導波路に電界を印加するための少なくとも1つの電極(12a,12b,13)と、シリコンチタンオキシニトライド層(16)と、このシリコンチタンオキシニトライド層を、光導波路が形成された面とは逆の電気-光学結晶基板の別の面に相互接続するための接続層(17)とを備えた光導波路型デバイス。

請求項（抜粋）：

上面及び下面を有する電気-光学結晶基板と、 上記電気-光学結晶基板の面内に形成された光導波路と、 上記光導波路の上に配置され、上記光導波路に電界を印加する少なくとも1つの電極と、 シリコンチタンオキシニトライド層と、 上記シリコンチタンオキシニトライド層を、上記光導波路が形成された面の反対側にある上記電気-光学結晶基板の別の面に相互接続するコネクタと、 を備える、光導波路型デバイス。

IPC (1件)：

G02F1/035

FI (1件)：

G02F1/035

Fターム (10件)：

2H079AA02 ,  2H079AA12 ,  2H079BA01 ,  2H079BA03 ,  2H079DA03 ,  2H079DA22 ,  2H079EA05 ,  2H079EA08 ,  2H079EB04 ,  2H079HA23

引用特許：

審査官引用 (1件)

• ニオブ酸リチウムデバイスを安定化させるための緩衝層構造
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2003-560642   出願人：コディオンコーポレイション